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CETR-Apex微纳压痕划痕检测仪

 

随着纳米科技和薄膜技术的发展(太阳能电池,cvd、pvd、dlc、MEMS等),纳米尺度的机械性能测试趋向标准化,CETR-Apex微纳压痕划痕检测仪在传统测试基础上有了很大改进,通过设计高宽径比的探针测试更深更窄的沟槽,还实现低载荷,高空间分辨以及原位载荷-位移数据精确测量。

CETR-Apex微纳压痕划痕检测仪

CETR-Apex微纳压痕划痕检测仪技术参数

技术参数 纳米级(NH) 微米级(MH)
测量载荷范围 达500mN 达20N
测量载荷分辨率 0.03µN 5µN
摩擦学测试范围 达100mN 达10N
摩擦学测试分辨率 3µN 0.2mN
划痕深度范围 200µm 500µm
划痕深度分辨率 0.001nm 0.05nm
XY载物台范围 120*120mm 120*120mm
XY载物台分辨率 0.1µm 0.1µm
光学显微镜划痕 10×to2500× 10×to2500×
测试速度 1µm/sto10mm/s 1µm/sto10mm/s
测试长度 1µmto100mm 1µmto100mm
测试深度 1nmto200µm 10nmto500µm

CETR-Apex微纳压痕划痕检测仪所适用的认证标准

  • ASTM E2546纳米压痕检测标准
  • ISO 14577 仪器压痕硬度检测
  • ASTM C1624 陶瓷涂层的附着力和机械性能失效检测
  • ASTM G171材料划痕硬度检测
  • ASTM E384材料微米尺度的压痕硬度检测
CETR-Apex微纳压痕划痕检测仪检测项目

CETR-Apex微纳压痕划痕检测仪应用领域

  1. 镜头:光学涂层
  2. 硬盘行业:盘片和磁头外涂层;DLC涂层
  3. 汽车和航天材料:涂料和中间层;汽车和飞机门窗;引擎组件
  4. 防磨损涂层:TiN, TiC, DLC, WC;切割材料
  5. 半导体:低K值材料;导体连线;钝化层
  6. 生物医药学:片剂和药丸;植入体和组织
  7. 薄膜:CVD或PVD涂层;太阳能、MEMS和燃料电池;光学组件;玻璃窗

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