CETR-Apex微纳压痕划痕检测仪
随着纳米科技和薄膜技术的发展(太阳能电池,cvd、pvd、dlc、MEMS等),纳米尺度的机械性能测试趋向标准化,CETR-Apex微纳压痕划痕检测仪在传统测试基础上有了很大改进,通过设计高宽径比的探针测试更深更窄的沟槽,还实现低载荷,高空间分辨以及原位载荷-位移数据精确测量。
CETR-Apex微纳压痕划痕检测仪技术参数
技术参数 | 纳米级(NH) | 微米级(MH) |
测量载荷范围 | 达500mN | 达20N |
测量载荷分辨率 | 0.03µN | 5µN |
摩擦学测试范围 | 达100mN | 达10N |
摩擦学测试分辨率 | 3µN | 0.2mN |
划痕深度范围 | 200µm | 500µm |
划痕深度分辨率 | 0.001nm | 0.05nm |
XY载物台范围 | 120*120mm | 120*120mm |
XY载物台分辨率 | 0.1µm | 0.1µm |
光学显微镜划痕 | 10×to2500× | 10×to2500× |
测试速度 | 1µm/sto10mm/s | 1µm/sto10mm/s |
测试长度 | 1µmto100mm | 1µmto100mm |
测试深度 | 1nmto200µm | 10nmto500µm |
CETR-Apex微纳压痕划痕检测仪所适用的认证标准
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CETR-Apex微纳压痕划痕检测仪应用领域
- 镜头:光学涂层
- 硬盘行业:盘片和磁头外涂层;DLC涂层
- 汽车和航天材料:涂料和中间层;汽车和飞机门窗;引擎组件
- 防磨损涂层:TiN, TiC, DLC, WC;切割材料
- 半导体:低K值材料;导体连线;钝化层
- 生物医药学:片剂和药丸;植入体和组织
- 薄膜:CVD或PVD涂层;太阳能、MEMS和燃料电池;光学组件;玻璃窗
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